LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器
一、产品简介：
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
二、主要技术指标：
| 1 | 量程范围 | （0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM |
| 2 | 准 确 度 | ±0.5%F.S/±1.0%F.S |
| 3 | 线 性 | ±0.5%F.S |
| 4 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 5 | 响应时间 | 电特性：1sec 气特性：（1～4）sec |
| 6 | 工作压差 | 0.02～1.0Mpa |
| 7 | 耐 压 | 3Mpa,10Mpa |
| 8 | 工作环境温度 | 0～50℃ |
| 9 | 数 字 量 | RS485/232 MODBUS 协议 |
| 10 | 模 拟 量 | DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可选 |
| 11 | 供 电 | DC ±15V/24V 可选，电源功率≥20W |
| 12 | 电气连接 | DB15 针 |
| 13 | 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
| 14 | 底座材质 | 316L 不锈钢 |
| 15 | 密封材质 | 氟橡胶，聚四氟乙烯，丁晴橡胶 |
| 16 | 气路接头 | 3/4〞，φ20，φ25，法兰连接 |
注意：
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
标准状态规定为：
温度-----298.15K (25℃);
气压-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 满量程值
三、工作原理：
LL-HS/DS 系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。
四、一般异常情况判断和处理：
| 现象 | 可能原因 | 处理方法 |
| 开机后无气体流过 | 气源未开, 气路不通 | 接通气源， 开通气路 |
| 没有设定目标流量 | 参照操作详解 3.3.1 | |
| 过滤器堵塞 | 更换过滤器 | |
| 调节阀故障 | 检查阀线圈是否断开，清洗调节阀 | |
| 电路故障 | 维修电路 | |
| 零点偏差 | 参照操作详解 3.3.6 | |
| 流量控制不稳定 | 传感器故障 | 更换传感器 |
| 电路故障 | 维修电路 | |
| 阀门污染 | 清洗阀门，更换密封件 | |
| 气源压强太低或不稳 | 提高气源气压，稳定气源压强 | |
| 在 阀 门 关 闭 的 情 况下，仍有较大的流量流过 | 调节阀故障 | 重新调整调节阀 |
| 入口气压过高 | 降低入口气压 | |
| 通道堵塞 | 清洗 MFC 通道 | |
| 流量显示不能达到满量程值 | 设定目标流量低于满量程 | 检查设定值 |
| 其它电路故障 | 维修电路 | |
| 不通气时零点不稳定 | 电路故障 | 维修电路 |
| 传感器故障 | 更换传感器 |
